洁净环境尘埃粒子浓度超标，多为这三个原因造成
发布时间：2026-03-11 浏览次数：88
前言：在洁净室的运行过程中，运行人员经常会遇到一个问题--突然在某个时间段，洁净区域的尘埃粒子浓度超标了。那么遇到这个问题，该怎样去系统地排查引起尘埃粒子浓度超标的原因？下面就从设备、设施、环境三个维度来分析。
一、排查设备运行是否正常
1.对于AHU机组系统，排查风机运行状态，确认风机段前后压差是否正常或明显较小；
2.对于MAU机组系统，除排查风机运行状态外，还要确认室内FFU机组运行是否正常；
风机运行异常送风量减小（风机频率降低、皮带损坏、叶轮异常等）或者FFU机群部分损坏/离线，都会导致换气次数降低影响净化结果。如有设备异常，则可能是因换气次数降低导致净化效率下降引起离子浓度超标，对设备进行处理，复机半小时后测试环境尘埃粒子浓度。
二、排查厂房设施/耗材是否正常
1.查看环境压差计压差是否正常，如压差下降明显，则可能为AHU或MAU机组送风异常，或厂房局部大量漏风引起，或过滤耗材堵塞引起。
2.对设备运行状态进行排查。
3.检查环境门、风淋门、传递窗、应急逃生门、泄压阀、消防排烟口挡板等设施是否发生故障敞开大量漏风，如有异常，及时进行复位，半小时后测试环境尘埃粒子浓度。
4.检查初中效过滤器阻力压差是否接近或超过2倍初阻力值，如果是，也需要进行更换。检查高效过滤器风速及过滤器前后压差，如果风速降低、压差增大，则高效过滤器堵塞，需要进行更换。
三、排查环境是否有污染源产生
基于排查设备运行正常、洁净区域设施状态正常的情况，就需要排查洁净环境是否有污染源产生。工艺设备产生的油雾、喷溅微粒、材料蒸发物等泄漏，会在短时间内引起尘埃粒子浓度急剧上升，且以成倍数量级增长。
排查污染源方法:
①准备工作:准备手持式尘埃粒子浓度测试仪及数据记录表；
②污染区域锁定:对洁净区域进行大块分段，每段区域检测1-2处，并记录数据，找出尘埃粒子浓度较大的区域，即为污染源产生区域；
③污染源定位:在确定的污染区进行小块分区，如九宫格式，进行测量尘埃粒子浓度，如工艺设备管廊较高的现场，还需按照高低位置进行区分测量，并记录数据，找出尘埃粒子浓度急剧升高的点位，进行确认污染释放点。
④处理闭环:在定位到污染源并处理后，待系统运行半小时后，继续复测尘埃粒子浓度，来排查是否有多重泄露现象，直至现场尘埃粒子浓度恢复正常水平。
总结一下：洁净室尘埃粒子浓度超标现象相对常见，但需要分情况来确定其是否为异常状态。一般来说人员集聚活动、正常工艺即为产尘作业（工艺产尘，不影响工艺）的情况，尘埃粒子浓度会在活动、作业结束0.5h左右恢复正常，如相对静态的状态下，尘埃粒子浓度长时间超标，则需进行检查评估原因。以上三个维度的排查在实际应用中并没有固定的顺序，要结合实际情况进行综合评判。
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